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晶片腐蚀放置架制造技术
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文档序号:37572431
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本实用新型提供一种晶片腐蚀放置架,涉及碳化硅晶片腐蚀技术领域,该种晶片腐蚀放置架,包括承载框架、辅助卡持架和扶手架,辅助卡持架的两端与承载框架的中部连接,并朝向承载框架的一侧凸起,承载框架相对的两个侧边上设置有多个侧边卡槽,辅助卡持架远离承...
该专利属于通威微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威微电子有限公司授权不得商用。
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