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本发明公开了一种湿法刻蚀设备及其控制方法，涉及湿法刻蚀设备管理技术领域，包括缓冲室、刻蚀室和控制器，所述缓冲室与所述刻蚀室内均设有传送轴，所述传送轴用来运输基板，所述缓冲室与所述刻蚀室通过连通孔贯通连接，所述基板通过所述连通孔在所述缓冲室与...
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