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本发明公开了一种适用于软X射线自由电子激光光束准直的超高真空四刀狭缝，其特征在于，包括超高真空腔体以及完全位于超高真空腔体内的四刀狭缝，软X射线自由电子激光脉冲从超高真空腔体的前部CF100法兰进入超高真空腔体后，自后部CF100法兰出超高...
该专利属于上海科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海科技大学授权不得商用。

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