温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

距离计测装置(100)具备：信号取得部(110)，其从光传感器装置(20)取得基于干涉光的电信号，该光传感器装置将频率周期性地变化的扫描光分支为参照光和向计测对象物体照射的照射光，将照射光照射到计测对象物体，使参照光与由计测对象物体反射的照...
该专利属于三菱电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。