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本发明公开了一种磁控装置与磁控溅射设备，磁控装置包括磁控管，包括包括外侧磁组件与内侧磁组件，外侧磁组件包括外侧直线单元与连接于外侧直线单元的端部的外侧弧形单元，内侧磁组件包括内侧直线单元，内侧直线单元与外侧直线单元之间具有间隙，驱动装置用于...
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