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本发明提供的一种适用于氮化镓单晶生长的温度压力联动调控的自动化控制系统，包含气路系统、温控系统、压力采集系统和自动控制系统，所述气路系统、压力采集系统和温控系统均与自动控制系统控制连接，其中：所述压力采集系统用于采集反应釜的压力信息，并将采...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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