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本实用新型公开了一种晶圆移动平台及具有其的测量设备，包括：底板；X轴滑动板，设于所述底板上；Y轴滑动板，设于所述X轴滑动板上；第一滑动机构，连接在所述底板和所述X轴滑动板之间，以驱使所述X轴滑动板的第一伸出侧沿着X轴方向滑出所述底板；以及第...
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