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本实用新型公开了一种高精刻阻设备用定位结构,包括光刻机主体和定位机构,所述光刻机主体的内侧固定有定位加工台,所述定位加工台顶端设有固定台和移动台,且定位加工台的正面钉接有玻璃板,所述固定台和移动台的侧端均螺纹连接有夹持部。该一种高精刻阻设备...该专利属于福建德普乐能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建德普乐能源科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种高精刻阻设备用定位结构,包括光刻机主体和定位机构,所述光刻机主体的内侧固定有定位加工台,所述定位加工台顶端设有固定台和移动台,且定位加工台的正面钉接有玻璃板,所述固定台和移动台的侧端均螺纹连接有夹持部。该一种高精刻阻设备...