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本发明涉及晶圆加工设备领域，具体是涉及一种光刻机用圆晶片的涂胶装置，包括外筒、内筒、锥筒、旋转筒、伸缩筒、吸盘、顶升执行单元和旋转执行单元，内筒设在外筒内，锥筒同轴转动的设置在外筒和内筒之间，锥筒的内锥面自外筒的顶端延伸至内筒的顶端，旋转筒...
该专利属于浙江海洋大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江海洋大学授权不得商用。

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