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本发明涉及数据处理技术领域，提供了一种基于远程等离子源的表面清洁管理方法及系统，所述方法包括：在远程清洁指令发送至远程等离子体源后，对目标清洁物体进行三维建模，获取目标物体模型，进行磨损矫正，获取目标物体矫正模型，生成表面清洁方案；在目标清...
该专利属于江苏神州半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏神州半导体科技有限公司授权不得商用。

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