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选择性发射极的制备方法和太阳能电池技术
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下载选择性发射极的制备方法和太阳能电池的技术资料
文档序号:37482005
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本申请提供一种选择性发射极的制备方法和太阳能电池。该制备方法包括步骤:提供硅衬底;对硅衬底的受光面进行掺杂处理,以形成掺杂层和覆盖掺杂层的掩膜层;对掩膜层进行刻蚀,以形成图案化的掩膜层,图案化的掩膜层覆盖电极区的掺杂层,并暴露出非电极区的掺...
该专利属于天合光能股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天合光能股份有限公司授权不得商用。
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