下载一种双向可控硅器件的制备方法及双向可控硅器件的技术资料

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本发明涉及一种双向可控硅器件的制备方法及双向可控硅器件,涉及半导体技术领域,器件包括:第一导电类型的半导体材料、场氧化层、第二导电类型的第一阱区、第二阱区、第三阱区和第四阱区、每一场氧化层的两侧形成的侧墙结构、第一导电类型的第一至第三重掺杂...
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