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本申请提供了一种基于探针台高度的补偿方法、装置及电子设备，方法包括：响应于探针台启动操作，将待测试器件置于可移动承片台上，并通过自动补偿机构完成测试探针与待测试器件之间的对准矫正；通过温控箱控制可移动承片台升高/降低并稳定至目标工艺温度；控...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。