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本发明公开一种用于半导体制备的气体切换装置，涉及半导体设备技术领域，以解决将不同气源与半导体设备的流体输送系统的进气口拆装费时费力的问题。所述用于半导体制备的气体切换装置包括出气组件、第一三通阀、第二三通阀和控制系统，第一三通阀包括第一进气...
该专利属于中科艾尔（北京）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科艾尔（北京）科技有限公司授权不得商用。

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