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声表面波SAW滤波器及其制造方法技术
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文档序号:37414100
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本申请提供一种声表面波SAW滤波器,包括:底部基板;设置在底部基板上方的压电层,且压电层具有面向底部基板的底面和与底面相对的顶面;设置在压电层下方的空腔;设置在压电层的底面的第一叉指换能器IDT,以及设置在压电层的顶表面的第二IDT;其中,...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。
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