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一种集成电路的大功率旁路电容结构和功放芯片制造技术
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文档序号:37408437
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本实用新型公开了一种集成电路的大功率旁路电容结构和功放芯片,电容结构包括:衬底,所述衬底开设有通孔;GaN外延层,设置于所述衬底上方,并覆盖所述通孔上;下电极层,设置在所述通孔内部;上电极层,设置在所述GaN外延层上方并位于所述通孔上方。本...
该专利属于成都海威华芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都海威华芯科技有限公司授权不得商用。
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