下载制备氮化硼纳米管的方法、纳米材料、半导体器件及装置的技术资料

文档序号:37404123

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本发明公开了制备氮化硼纳米管的方法、纳米材料、半导体器件及装置,方法包括:原位硼源实现:经过清洗并抛光的金属基底,在金属基底表面形成原位硼源,金属基底选自熔点温度高于氮化硼纳米管生长温度的,原位硼源为采用渗硼处理得到;纳米管生长:准备催化剂...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。

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