下载声表面波SAW滤波器及其制造方法的技术资料

文档序号:37389985

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本申请提供一种声表面波SAW滤波器,包括:底部基板;设置在底部基板上方的压电层,且压电层具有面向底部基板的底面和与底面相对的顶面;设置在压电层下方的空腔;设置在压电层的顶面的叉指换能器IDT;以及设置在压电层底面的背电极,且背电极的至少一部...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。

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