下载沟槽栅极金属氧化物半导体场效应晶体管及其制造方法的技术资料

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一种金属氧化物半导体场效应晶体管,包括具有第一主表面的半导体主体和从第一主表面延伸到半导体主体中并连接到栅极区的沟槽;半导体主体包括:具有第一导电类型的源极区,其在第一主表面处与沟槽的侧壁相邻;具有第一导电类型的漏极区,其在远离源极区的位置...
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