下载红外探测器阵列的互连铟柱的制备方法及红外探测器阵列的技术资料

文档序号:37363107

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本发明涉及红外探测器生产领域,特别是涉及一种红外探测器阵列的互连铟柱的制备方法及红外探测器阵列,通过在硅读出电路的正面设置第一光刻胶层;对所述第一光刻胶层进行图形化曝光显影,得到多个暴露出所述硅读出电路上预设的连接PAD的通孔,并对剩余区域...
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