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提供了改进的立体光刻技术及相关系统和方法。这样的改进技术可以包括多膜容器、用于生产平坦的膜表面的技术、用于力传感的技术、用于引导来自可移动台的光的技术和/或膜张紧技术。根据一些方面，容器可以包括至少部分地彼此脱离的多个膜。在一些实施方案中，...
该专利属于福姆实验室公司所有，仅供学习研究参考，未经过福姆实验室公司授权不得商用。

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