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本发明公开了一种晶粒去除装置，适于去除载板上预定去除的至少一晶粒。此晶粒去除装置包括载台、光源、光罩以及移动机构。载台适于承载载板。光源适于提供光束。光罩配置于载台与光源之间，光罩具有多个图案单元，每一个图案单元具有至少一个透光图案，每一个...
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