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一种非铝基深紫外偏振反射镜及其制备方法技术
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文档序号:37324387
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本发明属于偏振反射镜技术领域,提供了一种非铝基深紫外偏振反射镜及其制备方法。本发明的非铝基深紫外偏振反射镜可以在100nm~300nm范围内对入射深紫外线有着良好的偏振反射效率,特别是在240nm处,S光反射率为71%,P光反射率为15%,...
该专利属于苏州闻道电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州闻道电子科技有限公司授权不得商用。
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