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一种硅压力传感器背装结构制造技术
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文档序号:37305692
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本发明公开了一种硅压力传感器背装结构,包括传感器本体、阻尼、硅芯体、隔离环、固定铜片,所述传感器本体外围靠近底部可拆卸安装有第一紧固件,所述封装壳体外围两侧均固定连接有弹片,所述封装壳体外围两端均固定连接有扭力弹簧;本发明通过封装壳体将硅芯...
该专利属于合肥皖科智能技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥皖科智能技术有限公司授权不得商用。
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