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本发明提供了一种具有双功能的光敏聚酰亚胺前体材料及其制备方法与在光刻中的应用。本发明的具有双功能的光敏聚酰亚胺前体材料，是通过二胺与二酐聚合得到前驱体PAA聚合物，然后与具有疏水且可交联基团的化和物酯化反应得到。本发明的聚酰亚胺材料可以用于...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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