下载一种半导体晶圆翻转装置的技术资料

文档序号:37262707

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本发明公开了一种半导体晶圆翻转装置,属于半导体技术领域。一种半导体晶圆翻转装置,包括连接底板,所述连接底板上表面的一端设置有驱动齿轮,驱动齿轮两侧的连接底板上对称设置有限位滑轨,限位滑轨上活动连接有门形框架,连接底板上表面的另一端设置有工字...
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