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本申请提供一种晶圆卡盘，包括夹持件、卡盘基体和监测件，当夹持件夹持晶圆时，设置在夹持件上的监测件产生载荷值信号，若载荷值小于第一预设值，监测件发出第一类报警信号，避免晶圆在夹持件上脱落，进而损坏晶圆以及造成清洗设备损坏的风险，从而提高晶圆卡...
该专利属于湖北江城芯片中试服务有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北江城芯片中试服务有限公司授权不得商用。

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