下载装配衬底的检查方法和系统与生产方法的技术资料

文档序号:3723625

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本发明提供装配衬底的检查方法和系统与生产方法。具有装配于其上的组件的衬底是通过多个连续进行的生产步骤来生产的。提供检查装置,每个检查装置与包括最终步骤的这些生产步骤中不同的生产步骤相关联。这些检查装置在它们之间相互通信,并且均使用随后摄取的...
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