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在腔室（１）上部的开口部配置有由微波驱动并产生电磁场的天线部（３），在天线部（３）的下部设置有密封腔室（１）的开口部的顶板（４），在顶板（４）的下表面一侧设置有环形的突条（４１），其径向的厚度以锥形连续变化，从而在等离子的任意条件下均可以在...
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