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本实用新型涉及一种可以制作纳米结构的原子束源系统。该系统由供气系统、亚稳态氦原子束发生室、斩波器、激光准直系统等组成，利用供气系统提供的氦气生成亚稳态氦原子束，通过斩波器、激光准直系统等压缩原子束的纵横向速度及其速度分布，减小其发散角，提高...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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