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等离子体掺杂方法技术
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文档序号:3717625
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为了实现稳定的低浓度掺杂的等离子体掺杂方法,它是一边将掺杂原料气体输入到装有等离子体发生装置的真空容器内,一边从真空容器内排出气体,通过装有作为2个可变阻抗器件的环形磁芯的等离子体发生装置用匹配电路,将高频功率供给等离子体发生装置而使上述真...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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