下载适用于SF6净化设备的去除SF6气体中C3F8的方法及装置的技术资料

文档序号:37175209

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本发明公开适用于SF6净化设备的去除SF6气体中C3F8的方法,包括以下步骤:步骤一:待净化的SF6气体降压后经过第一检测器,若C3F8含量低于预设值,则直接加压导出,若C3F8含量大于预设值,则进入吸附组件进行吸附;其中,对需要吸附的气体...
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