下载气体控制系统和贴合装置的技术资料

文档序号:37174317

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本申请提供一种气体控制系统,包括容置腔体、增加件、储气罐以及抽真空部件,容置腔体包括第一腔室和第二腔室,第二腔室能够相对第一腔室移动,以和第一腔室闭合,容置腔体通过膜片分割成第一密封腔和第二密封腔,增压件连接气源供应件,用于对气源供应件输入...
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