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本发明提供了一种柔性可弯曲钽基掺硼金刚石薄膜及其制备方法和应用，涉及半导体材料技术领域。通过选择金属钽尺寸、预处理金属钽改善其对金刚石的附着能力、再将其作为基底材料，利用金属钽良好的弯曲性能和稳定的化学性质，从而制备出可弯曲钽基掺硼金刚石薄...
该专利属于山东省科学院新材料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过山东省科学院新材料研究所授权不得商用。

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