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提供原料的使用效率高的半导体制造装置。半导体制造装置具备：第一贮存容器，贮存第一原料，具有第一容器出口；反应室；第一流量控制机构，调整从第一容器出口向反应室输送的第一原料的流量，具有第一入口和第一出口；第一配管，将第一容器出口和第一入口连接...
该专利属于东芝电子元件及存储装置株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东芝电子元件及存储装置株式会社授权不得商用。

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