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本发明公开了一种AlNd合金靶材的制备方法，涉及合金靶材制备领域，旨在解决目前的AlNd合金靶材制备时存在气孔的问题，其技术方案要点是：一种AlNd合金靶材的制备方法，包括以下步骤：S1、选用纯度为99.999％A1锭和纯度为99.99％N...
该专利属于基迈克材料科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过基迈克材料科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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