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本实用新型涉及光刻机技术领域，且公开了一种光刻机自动定位工装，包括移动块，所述移动块后端外表面固定连接有移动驱动连接块，所述移动块下端内表面开设有滑槽，所述移动块上滑槽下端内表面滑动连接有转块，所述转块上端外表面固定连接有衬底连接盘，所述移...
该专利属于合肥远光机电科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥远光机电科技有限责任公司授权不得商用。

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