温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种金属连线结构可靠性测试方法，所述方法包括：获取基准芯片的熔断电流以及该基准芯片的金属连线结构寿命；根据所述基准芯片的熔断电流以及该基准芯片的金属连线结构寿命计算测试芯片在不同的金属连线结构寿命下对应的熔断电流；将所述测试芯片的...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。