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一种电迁移测试的方法技术
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文档序号:37102200
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本申请技术方案提供一种电迁移测试的方法,包括:获得待测样本的实际应用条件、电迁移测试时的应力温度以及失效分布方差;基于所述失效分布方差,获得在所述应力温度下,满足所述实际应用条件时的应力测试时间t
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该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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