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本发明涉及一种行星轮式连续蒸镀填料供给系统及其方法，采用行星轮式设计与梯度预处理方式，使当前在用蒸发材料耗尽后可以迅速更换填满料的蒸发容器，避免了降温、工艺腔室充气（破真空）、取出材料容器、填料、腔室抽真空、升温、稳定等繁复步骤，使蒸镀能连...
该专利属于衢州纤纳新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过衢州纤纳新能源科技有限公司授权不得商用。

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