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高速激光相位测距装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:37075519
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本发明提供一种高速激光相位测距装置及方法,装置包括调制频率源、激光器、分光棱镜、第一探测器、被测目标、电控衰减器、第二探测器、处理电路和控制电路,调制频率源用于产生双测尺合成调制信号,双测尺合成调制信号经过激光器,得到调制激光信号,调制激光...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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