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本申请涉及一种压力自平衡真空比例阀，包括第一气体通道及阀体，第一气体通道具有进气腔及出气腔；阀体包括锁止件及驱动件，锁止件设置于进气腔与出气腔之间，锁止件受驱动件的驱动时可以上下移动，锁止件上下移动可以开闭进气腔与出气腔的连通口，进气腔与出...
该专利属于深圳市佳迈自动化股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市佳迈自动化股份有限公司授权不得商用。

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