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本发明涉及一种设备，该设备包括：芯片(10；110)，该芯片尤其是从SOI晶片制备，并且该芯片含有具有用于激励悬臂振荡的第一压电转换器(30；130)的第一可振荡悬臂(20；120)，其中，第一悬臂(20)突出到芯片中的凹槽(11；111)...
该专利属于特鲁达因传感器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过特鲁达因传感器股份有限公司授权不得商用。

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