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本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种选择性增强的半导体气体传感器及其制造方法。该方法在半导体气敏材料层上沉积分子筛过滤层，通过调控分子筛过滤层的孔道、孔径来实现气体传感器选择性改善。其沉积方法包括：在气敏材料颗粒表面自组装吸附抑制和促进剂...
该专利属于武汉微纳传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉微纳传感技术有限公司授权不得商用。

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