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磁阻随机存取存储器装置制造方法及图纸
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下载磁阻随机存取存储器装置的技术资料
文档序号:36938380
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一种磁阻随机存取存储器(MRAM)装置包括:自旋轨道矩结构,包括氧化物层图案、铁磁图案和非磁性图案的堆叠件;以及位于自旋轨道矩结构上的磁隧道结(MTJ)结构,MTJ结构包括自由层图案、隧道势垒图案和钉扎层图案的堆叠件,其中,自旋轨道矩结构沿...
该专利属于韩国科学技术院所有,仅供学习研究参考,未经过韩国科学技术院授权不得商用。
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