温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及晶圆技术领域，尤其为一种用在晶圆运输的旋转机构，包括：支撑架，所述支撑架内腔底部的左侧固定连接有旋转电机，所述旋转电机的输出轴固定连接有旋转杆一，所述旋转杆一的一端贯穿至支撑架的左侧并固定连接有连接板一，所述连接板一的顶部固定...
该专利属于南京华易泰电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京华易泰电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。