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本申请提供的一种检测组件及蒸镀装置，通过设置探头组件用于放置使用中的晶振片组件，并实时对晶振片组件的振动频率进行监测，从而得到基板上蒸镀材料的蒸镀速率及膜厚度。其中，当探头组件检测到需要更换晶振片组件时，更换组件可以将探头组件处使用中晶振片...
该专利属于TCL科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过TCL科技集团股份有限公司授权不得商用。

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