下载加工光学器件、激光加工设备及激光加工方法的技术资料

文档序号:36922990

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本发明涉及一种用于工件加工的加工光学器件(16),该加工光学器件包括:偏振器装置(7)和聚焦光学器件(17),该偏振器装置包括用于将尤其是脉冲式的至少一个输入激光束(3)分离为至少两个部分射束(5a,5b)的双折射偏振器元件(1a,1c),...
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