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本发明提供一种抛光垫检测装置、系统及方法，该装置包括安装座和用于检测待测抛光垫的形变的检测探针组件，安装座包括相对设置的第一安装板、第二安装板、以及可变长的连接支架，第一安装板上设有用于待测抛光垫的外边缘穿过的第一凹槽，第二安装板上设有用于...
该专利属于万华化学集团电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过万华化学集团电子材料有限公司授权不得商用。

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