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基于硫属化物的材料、以及包括其的开关元件和存储器件制造技术
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下载基于硫属化物的材料、以及包括其的开关元件和存储器件的技术资料
文档序号:36899989
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提供基于硫属化物的材料、以及包括其的开关元件和存储器件。所述基于硫属化物的材料包括:硫属化物材料和掺杂剂。所述硫属化物材料包括Ge、Sb和Se。所述掺杂剂包括选自In、Al、Sr和Si的至少一种金属或准金属元素、所述金属或准金属元素的氧化物...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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